基于MESFET的GaAs基微加速度计的设计与性能测试

• 作者: 侯婷婷 刘俊 史伟莉 张文栋 薛晨阳 谭振新 贾晓娟
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MESFET GaAs 灵敏度 线性度 微加速度计
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 405-409
• 分类号: TN304|TP386
• 字数: 1880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.008

摘要

利用金属-半导体结型场效应晶体管(MESFET)作为微加速度计的敏感单元,设计一种4梁-质量块微加速度计结构.通过ANSYS分析软件进行仿真,敏感单位放置于悬臂梁根部的应力最大处,以获得最大的灵敏度.将封装好的微加速度计结构,利用惠斯通电桥测试电路,检测不同载荷下的输出特性,验证了微加速度计的力电耦合效应.测试结果表明,该微加速度计的线性度较好,其最大加载范围可达到24 g,且饱和区的灵敏度可达到4.5 mV/g,为高灵敏微传感器的研究奠定了一定的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子与计算机科学技术学院	181	1162	17.0	24.0
2	张文栋	中北大学电子与计算机科学技术学院	167	1172	16.0	26.0
3	薛晨阳	中北大学电子与计算机科学技术学院	136	765	14.0	21.0
4	谭振新	中北大学电子与计算机科学技术学院	3	7	2.0	2.0
5	侯婷婷	中北大学电子与计算机科学技术学院	2	7	2.0	2.0
6	贾晓娟	中北大学电子与计算机科学技术学院	2	7	2.0	2.0
7	史伟莉	中北大学电子与计算机科学技术学院	2	6	1.0	2.0