磁控溅射CrNx薄膜的接触电阻及其耐腐蚀性能

• 作者: 谭俊 邢汝鑫 钱耀川
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 燃料电池 金属双极板 磁控溅射 CrNx
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 30-33,39
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2120字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.06.006

摘要

采用磁控溅射工艺,在304不锈钢表面沉积CrNx薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜形貌,采用能谱仪(EDS)和X射线光电子能谱(XPS)分析薄膜的元素组成和化学价态;测试了其接触电阻及耐腐蚀性能.结果表明:薄膜以柱状晶方式生长,主要由Cr2N和Cr组成;在质子交换膜燃料电池电堆的组装力范围内接触电阻降低明显;在模拟电池环境腐蚀溶液中腐蚀电流降低明显,耐腐蚀性能显著增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭俊	装甲兵工程学院再制造技术重点实验室	49	427	9.0	19.0
2	邢汝鑫	装甲兵工程学院全军装备表面工程重点实验室	3	12	3.0	3.0
3	钱耀川	装甲兵工程学院全军装备表面工程重点实验室	12	162	6.0	12.0