有限元在金属微结构电铸特性分析中的应用

• 作者: 刘远伟 郑晓虎 顾锋
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构 微细电铸 流场 电场 仿真
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 183-187
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 3581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.03.011

摘要

为改善高深宽比金属微结构的电铸成型质量,采用有限元方法分析微细电铸的电场和流场的分布特点,及搅拌方式、电场和流场分布对微细电铸质量的影响.研究表明:搅拌对电铸区域的影响只集中在微区的入口部分,深度小于55μm,扩散过程成为金属沉积的限制性因素;电力线曲率随电铸深宽比增大而提高,导致电铸微区内金属离子传输能力不均匀.微细电铸过程中,搅拌速度提高并不能改善金属沉积的传质条件;辅助超声的复合搅拌在相同条件下能提高金属沉积速度,减少铸层缺陷、改善传质.实现了表面光滑、侧壁陡直的金属微结构的电铸成型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓虎	淮阴工学院江苏省数字化制造技术重点建设实验室	25	137	7.0	10.0
2	刘远伟	淮阴工学院江苏省数字化制造技术重点建设实验室	62	486	12.0	20.0
3	顾锋	淮阴工学院江苏省数字化制造技术重点建设实验室	12	47	4.0	6.0