位置敏感探测器测量电路噪声分析

• 作者: 张开志 文龙 李洪 杨兴林 江孝国 王远 石金水
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器件 位置分辨力 电路噪声
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 微光机电与物理电子技术
• 页码范围: 96-100
• 页数: 5页
• 分类号: TN15
• 字数: 2889字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2010.01.023

摘要

位置敏感探测器(PSD)的特点是位置测量分辨力高,测量装置建立简单,测量结果比较直观.对PSD测量电路等效噪声进行测试分析,获得一系列模拟结果,明确了电路噪声是影响位置测量分辨力的重要因素.以一维PSD器件S3932为例,按照建立的模拟模型,得出要获得1 μm的位置分辨力,器件的工作光电流应大于7 μA,该模拟结果可以作为PSD测量电路设计的一个重要参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石金水	中国工程物理研究院流体物理研究所	68	304	10.0	13.0
2	王远	中国工程物理研究院流体物理研究所	67	188	8.0	11.0
3	江孝国	中国工程物理研究院流体物理研究所	66	434	11.0	18.0
4	张开志	中国工程物理研究院流体物理研究所	58	238	8.0	12.0
5	杨兴林	中国工程物理研究院流体物理研究所	19	31	3.0	4.0
6	李洪	中国工程物理研究院流体物理研究所	20	85	6.0	8.0
7	文龙	中国工程物理研究院流体物理研究所	5	19	2.0	4.0