改性剂对旋转法SiO2减反膜均匀性的影响

• 作者: 刘志超 张清华 惠浩浩 李海波 杨伟 马平 马红菊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 旋转涂膜 条纹缺陷 溶胶-凝胶 减反膜 含氟醇
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 2865-2870
• 分类号: O484.4
• 字数: 4030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102212.2865

摘要

分析了采用旋转涂膜法制备溶胶-凝胶SiO2减反膜过程中条纹缺陷产生的机理,利用含氟醇类试剂对减反膜溶胶进行改性,使溶胶链段柔顺性及流动性得到改善.在光学显微镜下对改性前后的膜层进行了对比和分析,对膜层的表面形貌、表面粗糙度以及透射比等特性进行了表征.结果表明:溶胶改性之后的膜层未出现条纹缺陷,表面粗糙度均方根值从4.55 nm下降到小于1.00 nm,膜层表面质量有了较大提高;改性前后膜层的增透性能相当,在熔石英基片上制备的膜层峰值透射比为99.60%～99.89%,膜层激光损伤阈值为21.0～25.3 J/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志超		16	86	6.0	8.0
2	李海波		8	34	3.0	5.0
3	马平		54	355	11.0	15.0
4	马红菊		4	28	3.0	4.0
5	张清华		18	154	7.0	12.0
6	惠浩浩		3	10	2.0	3.0
7	杨伟		4	21	3.0	4.0