光学表面粗糙状态分形研究

• 作者: 付绍军 刘颍 周卿 干蜀毅 徐向东 洪义麟
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 表面粗糙度 分形 多重分形谱 自相似
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 430-435
• 分类号: TB92
• 字数: 4262字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.05.11

摘要

将分形法引入光学表面粗糙度评价体系中,以克服常用表面粗糙度评价参数(如Ra、Rq、PSD)随取样点位置、取样长度而变化的弊端.用原子力显微镜(AFM)对样片表面进行测量,计算测量值的配分函数和多重分形谱.计算结果表明:不同样品在同样取样范围内多重分形谱显著不同,同一样品在不同取样范围内配分函数曲线有区别,但多重分形谱却非常相似.对分形计算结果与表面粗糙状态之间的内在联系进行了分析,提出用多重分形谱宽把分形计算结果量化,以客观、唯一地表示被测表面粗糙状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干蜀毅	中国科技大学国家同步辐射实验室	59	703	12.0	25.0
5	周卿	合肥工业大学机械与汽车工程学院	4	21	3.0	4.0
6	徐向东	中国科技大学国家同步辐射实验室	6	57	4.0	6.0
7	洪义麟	中国科技大学国家同步辐射实验室	6	57	4.0	6.0
8	刘颍	中国科技大学国家同步辐射实验室	4	37	3.0	4.0
9	付绍军	中国科技大学国家同步辐射实验室	10	74	4.0	8.0