微波等离子体的朗缪尔探针测量

• 作者: 张宝芳
• 来源期刊: 佳木斯大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 朗缪尔探针 测量
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 521-523
• 分类号: TN136
• 字数: 1857字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1402.2010.04.011

摘要

随着微波等离子体的应用越来越广泛,其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视.本文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针I-V特性,并根据探针测量原理计算出等离子体空间电位、电子温度,电子密度和离子密度等参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宝芳	江苏科技大学张家港校区信息学院	3	4	1.0	2.0