金刚石晶体生长研究进展

• 作者: 张亚非 赵刚 赵江
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 高温高压 化学气相沉积 掺杂
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 化学工程
• 页码范围: 584-587,592
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164|TQ125|O484
• 语种: 中文

摘要

介绍利用高温高压(HPHT)合成高质量金刚石单晶和化学气相沉积法(CVD)制备金刚石薄膜的设备、方法、工艺参数以及热丝CVD和微波等离子体CVD的优缺点;P型和N型金刚石掺杂研制现状.重点介绍N型金刚石掺杂的困难,氮、锂、钠、磷、硫等杂质的掺杂效果,共掺杂对于金刚石薄膜的影响,以及近年来P型和N型掺杂取得的成果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵刚		109	483	11.0	18.0
2	张亚非		46	182	8.0	12.0
3	赵江		3	10	1.0	3.0