功能性无机氟化物——纳米结构固体的合成、表征与特性

• 作者: Tressaud 刘军涛
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 无机氟化物 纳米结构 光谱特性 功能 合成 固体 表征 刻蚀工艺
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 12
• 页数: 1页
• 分类号: TN244

摘要

从微电子刻蚀工艺到铀同位素提取再到氟聚合物的工艺提升，无机氟化物和氟基材料在不同领域都发挥了重要的作用。目前，纳米技术已经应用于无机氟和氟基材料的制备中，新的氟材料不断出现。本书是一本论文集，集合多位相关领域专家的最新研究成果，围绕着无机氟材料，介绍了几种新型功能氟材料，以及它们的形态、结构、制备工艺，及光学光谱特性等。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军涛	中国科学院电子学研究所	32	35	2.0	5.0