扫描电镜图像缺陷分类、影响因素及解决方法

• 作者: 李剑平 杨咏东
• 来源期刊: 仪器仪表用户
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 图像缺陷分类 影响因素 解决方法
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 人才培养
• 页码范围: 79-81
• 分类号: TN16
• 字数: 2162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1041.2010.03.040

摘要

讨论了扫描电镜图像缺陷的分类、影响因素,提出相应的解决方法,并展示了结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李剑平	烟台大学光电学院	24	164	6.0	12.0
2	杨咏东	烟台大学光电学院	17	62	4.0	7.0