用于真空测量的电容式微型传感器

• 作者: 冯勇建 廖泽龙 陈志建 霍晓玮
• 来源期刊: 中国科技成果
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 真空传感器 电容测试 信号处理
• 年，卷（期）: 2010,（19）
• 页码范围: 58-60
• 分类号: TP2
• 字数: 2408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1009-5659.2010.19.020

摘要

文章介绍了一种利用MEMS技术制作加工的电容式微型真空传感器.该传感器采用p++硅自停止腐蚀技术和硅一玻璃键合技术制作,形成了硅-玻璃-硅的三明治结构,使得该传感器结构简单、灵敏度高.传感器输出的电压信号经过信号处理电路进行放大、处理,实验数据表明,传感器的电容值与真空度成线性关系,满足测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	陈志建	厦门大学机电工程系	4	5	1.0	2.0
3	廖泽龙	厦门大学机电工程系	2	2	1.0	1.0
4	霍晓玮	厦门大学机电工程系	1	1	1.0	1.0