五棱镜扫描法检测大口径近红外干涉仪准直波前

• 作者: 于丽娜 刘兆栋 陈磊 韩志刚
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 准直波前 五棱镜扫描 干涉仪 近红外
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1082-1087
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103704.1082

摘要

为了保证大口径近红外干涉仪的测试精度,必须严格控制其出射波前的准直性.采用五棱镜扫描系统将干涉仪的出射波前分割成若干个子波前,记录每个子波前在CCD上所成光斑质心的相对位置,计算得到各个子波前的法线方向以重构被测波前,从而实现对出射波前准直性的检测.实验测量了210mm口径的近红外干涉仪准直物镜水平方向上的出射波前,计算重构了被测波前.分析了实验系统误差对于测试结果的影响.该方法成本低、精度高,特别适用于大口径近红外波前的准直性检测.