采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形

• 作者: 张晓辉 袁理
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 五棱镜扫描法 大口径平面镜 面形 表面倾斜角
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 原创文章
• 页码范围: 920-931
• 页数: 12页
• 分类号: O439
• 字数: 6620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20191204.0920

摘要

为了提高大口径平面镜面形检测的精度和效率,提出了一种新的五棱镜扫描法.该方法采用径向扫描的方式,使用一个扫描的五棱镜和一台自准直仪来测量表面倾斜角的差值,然后将被测平面镜的面形表示为Zernike多项式的线性组合,再利用表面倾斜角的差值建立方程组,最后采用最小二乘法计算得到被测平面镜的面形.在检测过程中,该方法还可以对五棱镜在扫描过程中的倾斜变化量进行自动监视和调整,减小了检测误差.误差分析表明,该方法的面形检测精度为7.6 nm rms(均方根误差).采用该方法对一块1.5 m口径的平面镜进行了面形检测,并与Ritchey-Common法的检测结果进行了对比,两种方法面形结果的差异为7.1 nm rms,小于五棱镜扫描法的面形检测精度.证明了利用该五棱镜扫描法检测大口径平面镜面形的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	70	732	13.0	25.0
2	袁理	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	72	4.0	8.0