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差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用
差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用
作者:
刘立峰
徐象如
汤兆鑫
许伟才
黄玮
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
波前检测
差分五棱镜扫描法
平行光管
误差分析
摘要:
为了实现高精度大口径平行光管波前检测,评价平行光管出射波前质量,提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管。该方法为五棱镜扫描法的优化方法,通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前,从而消除由于五棱镜扫描法波前检测中质心标定不准确而引入的倾斜和离焦的误差量。通过搭建差分五棱镜扫描法波前检测系统验证了此方法的可行性,并给出差分五棱镜扫描法误差分析说明此方法可靠性。误差分析表明,该方法检测精度可以达到10.54 nm;实验结果表明,该方法相比于五棱镜扫描法分别在波面峰谷值( PV)和均方根值( RMS)的重复性精度上提高了74.41%和125.81%。该方法基本满足平行光管波前检测精度高、稳定性好的要求,可以客观准确地评价平行光管出射波前质量。
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内容分析
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内容分析
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文献信息
篇名
差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用
来源期刊
中国光学
学科
工学
关键词
波前检测
差分五棱镜扫描法
平行光管
误差分析
年,卷(期)
2014,(6)
所属期刊栏目
光学仪器与测试
研究方向
页码范围
1003-1011
页数
9页
分类号
TN247|TP212.14
字数
4603字
语种
中文
DOI
10.3788/CO.20140706.1003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
黄玮
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
31
341
8.0
18.0
3
许伟才
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
13
55
5.0
7.0
6
汤兆鑫
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
1
11
1.0
1.0
10
刘立峰
1
11
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1.0
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徐象如
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
4
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传播情况
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引文网络
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二级引证文献(2)
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节点文献
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差分五棱镜扫描法
平行光管
误差分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国光学
主办单位:
中国科学院长春光学
精密机械与物理研究所
中国光学学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
2095-1531
CN:
22-1400/O4
开本:
大16开
出版地:
吉林省长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-140
创刊时间:
1985
语种:
chi
出版文献量(篇)
2372
总下载数(次)
8
总被引数(次)
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