一种压电陶瓷微位移测量的新方法

• 作者: 刘勇 巫建东 朱灵 朱震 王安 翟玉锋 范彦平 许良元
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤Fabry-Perot干涉 压电特性 微位移 干涉条纹
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 压电功能器件
• 页码范围: 82-85
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.01.023

摘要

提出了一种简单、有效的基于光纤Fabry-Perot干涉的压电陶瓷(PZT)微位移测量的新装置,为提高干涉现象,在Fabry-Perot干涉腔两端面上分别镀不同反射率的薄膜.通过软件编程快速实现对干涉条纹的计数进而确定PZT的微位移,得到的位移电压斜率误差小,实现了对PZT微位移的实时快速测量.测试了同频率不同腔长和同腔长不同频率的压电特性,结果表明变化很小,说明该方法可操作性强,可靠性高.分析了光纤耦合效率和光源的相干性等对实验的影响.