一种评价硅微陀螺性能的电路分析方法

• 作者: 侯占强 吴学忠 满海鸥 肖定邦 陈志华 陶溢
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微陀螺 双正弦载波 零偏稳定性 电路分析
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 931-934
• 分类号: TN492
• 字数: 2834字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.07.008

摘要

硅微机械陀螺批量生产后,传统的微陀螺测试方法耗费时间比较长,需要专用设备,测试系统比较复杂,工作量很大.基于双正弦载波调制的测控电路,经过大量的电路调试工作,首次利用电路分析方法,提出了三种评价硅微陀螺性能的指标.运用此评价指标,对五个硅微陀螺进行了性能评价,性能由高到低依次是G05、G04、G03、G02、G01,并用零偏稳定性指标对G05 、G01进行了验证,G05零偏稳定性67°/h, G01零偏稳定性104°/h.结果表明,电路分析方法可以快速评价硅微陀螺性能,效率高,准确率高.最后,运用电路分析方法进一步优化了微陀螺的结构设计以及改进了相关的制造工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶溢	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	9	40	4.0	6.0
3	侯占强	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	10	61	4.0	7.0
6	肖定邦	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	18	151	6.0	12.0
7	吴学忠	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	29	199	7.0	13.0
8	陈志华	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	14	130	6.0	11.0
9	满海鸥	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	1	1.0	1.0