高精度单幅闭合条纹干涉图相位重构技术

• 作者: 刘东 卓永模 杨甬英 田超 骆永洁
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 干涉图 闭合条纹 相位重构 黄金分割
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 531-536
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103702.0531

摘要

在干涉检测中,常用各种调制手段将被测信息加载到干涉图中,通过对检测得到的条纹图样进行分析,便可以得到被测信息.如果实验条件不允许施加任何调制手段,探测器检测得到的将很有可能是具有闭合条纹的单幅干涉图.正则化相位跟随(RPT)技术可以对单幅闭合干涉图进行相位重构,但其最主要的问题是精度过低.从最小二乘法角度出发,在经典RPT技术基础上,利用黄金分割(GS)算法对干涉图相位进行二次逼近,实现了对单幅闭合干涉图的高精度相位重构.计算机仿真结果表明该算法在保持了经典RPT算法各项优点的同时能够有效提高相位重构精度.对实际干涉图进行处理的结果与ZYGO GPI干涉仪进行了对比,结果较吻合,平均峰-谷(PV)值精度优于λ/20.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘东		45	454	12.0	20.0
2	卓永模		19	118	6.0	10.0
3	杨甬英		44	354	11.0	18.0
4	田超		6	33	2.0	5.0
5	骆永洁		4	13	1.0	3.0