六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究

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刘品宽高峰

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篇名	六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究
来源期刊	中国科技成果	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2010,（5）	所属期刊栏目	科技计划成果
研究方向		页码范围	12-13
页数	2页	分类号	TS8
字数	1704字	语种	中文
DOI	10.3772/j.issn.1009-5659.2010.05.006

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘品宽		35	216	7.0	13.0
2	高峰		186	2046	23.0	38.0