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应用材料为先进微芯片设计提供突破性的流体CVD技术
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摘要：
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微流体芯片技术在免疫分析中的应用
微流体芯片
均相免疫分析
非均相免疫分析
突破性水痘临床特征分析
水痘
水痘疫苗
体征和症状
基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展
准分子激光微加工
微流体芯片
光蚀刻
一种突破性的流体技术在砂岩储层增产中的应用
砂岩酸化
间歇反应
HF酸化体系
乳化作用
酸渣
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 应用材料为先进微芯片设计提供突破性的流体CVD技术 | ||
| 来源期刊 | 半导体信息 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微芯片 应用材料 CVD 薄膜沉积 逻辑器件 工艺步骤 化学气相沉积 摩尔定律 十年 | ||
| 年，卷（期） | bdtxx_2010,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 15-16 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN492 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
微芯片
应用材料
CVD
薄膜沉积
逻辑器件
工艺步骤
化学气相沉积
摩尔定律
十年
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
主办单位：
中国半导体行业协会分立器件分会
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
南京市1601信箱43分箱（南京市中山东
邮发代号：
创刊时间：
1990
语种：
chi
出版文献量（篇）
5953
总下载数（次）
11
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