基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究

• 作者: 吴学忠 李圣怡 王浩旭 董培涛 谢立强
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 石英陀螺 剪应力检测 Coriolis力
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 6896-6901
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各项异性湿法腐蚀z切石英片的方法制造了微结构样件.测试表明样件的驱动频率约为5.6 kHz,大气下的品质因子在5000以上.输出信号频谱的谱线存在Coriolis力信号,验证了设计思想的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	77	1079	17.0	30.0
2	吴学忠	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	29	199	7.0	13.0
3	董培涛	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	10	7	2.0	2.0
4	谢立强	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	3	44	1.0	3.0
5	王浩旭	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0