粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计

• 作者: 尹文生 朱煜 杨一博 汪劲松 蔡田
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 粗精动 系统辨识 激励信号 优化设计
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 所属期刊栏目: 制造科学与技术
• 页码范围: 165-170
• 分类号: TP271+.5
• 字数: 3741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2010.09.165

摘要

针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究.粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统.获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要基础.而系统辨识是获得系统模型的一种有效方式.其中输入信号设计是系统辨识试验重要的一部分.将粗精动运动平台的系统模型简化为一类多变量有限阶次线性时不变模型;将多入多出(Multiple-input multiple-output,MIMO)辨识方法引入粗精动系统辨识,并提出一种多入多出模型系统辨识激励信号优化设计算法,算法通过将多正弦曲线时域信号与其功率谱密度参数化,利用参数化后的激励信号在有限功率输入下进行激励信号优化;理论分析与仿真结果表明此方法可以有效提高估计模型的渐进方差性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
5	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
9	汪劲松	清华大学精密仪器与机械学系	152	4500	42.0	59.0
10	杨一博	清华大学精密仪器与机械学系	3	16	2.0	3.0
14	蔡田	清华大学精密仪器与机械学系	1	12	1.0	1.0