存在不稳定失效现象光耦的失效分析研究

• 作者: 孟猛 张延伟 王旭
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 光电耦合器 不稳定失效现象 失效分析
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 可靠性物理与失效分析技术
• 页码范围: 22-27
• 分类号: TN15
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2011.01.006

摘要

光电耦合器4N55/883B发生一例两管腿间阻值小稳定的失效,并且在进行失效分析的过程中,该失效现象消失.经过运用一系列的失效分析技术方法进行试验,并结合理论分析,最终确认了该失效案例的失效机理,明确了失效原因,得到该失效为过电应力导致器件烧毁失效的结论.采用了包括图示仪检测、X光检查、扫描电子显微镜(SEM)检查、能量散射谱(EDS)分析以及聚焦离子束(FIB)制样等先进的分析技术和方法,对其它半导体器件的失效分析也有借鉴作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张延伟		24	105	6.0	9.0
2	王旭		9	4	1.0	1.0
3	孟猛		8	16	2.0	3.0