纳秒脉冲激光对水下靶材的掩模微细刻蚀加工

• 作者: 张朝阳 张永康 毛卫平 王耀民 陈飞
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 纳秒脉冲激光 掩模板 等离子体冲击波 热-力学效应
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 180-184
• 分类号: TG665|TN249
• 字数: 4329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.02.016

摘要

在激光的传输光路中加入掩模板,采用纳秒脉冲激光对水下靶材进行了掩模微细刻蚀加工,与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率,加工精度由掩模保证.在所构建的试验系统中,分别在空气中、纯水中和盐溶液中进行了加工试验,在水流的作用下,激光辐照的多余热量被带走,加工边缘热影响区明显减小.同时,水下激光辐照还会在加工区域造成光学击穿,产生等离子体冲击渡,在水层的约束限制作用下,加工表现出了明显的冲击波力学效应.通过这种热一力学的复合效应,使金属材料表面产生材料去除和变形的加工效果.最终在质量分数为15%的NaNO3的溶液中,利用热一力学效应和化学反应的复合作用,实现了线宽120 tun左右、热影响区小、成形精度较好的微细刻蚀加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永康	江苏大学机械工程学院	219	3356	29.0	43.0
2	毛卫平	江苏大学机械工程学院	20	164	7.0	12.0
3	王耀民	江苏大学机械工程学院	7	36	4.0	6.0
4	张朝阳	江苏大学机械工程学院	31	143	7.0	10.0
5	陈飞	江苏大学机械工程学院	23	87	5.0	8.0