基于单面阵CCD的三维平移测量系统设计

• 作者: 刘力双 吕勇 弋青锐 王凯
• 来源期刊: 北京信息科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 平移测量 多自由度 准直光束 LED光源 面阵CCD
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 专题研究·光学工程
• 页码范围: 29-34
• 分类号: TB96
• 字数: 3795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6864.2011.03.006

摘要

针对高精度多自由度位移同时测量问题,利用光斑位置变化方法设计了一种基于单面阵( CCD,Charge-Coupled Device)三维平移测量系统.系统采用两路准直(LED,Light-Emitting Diode)光束作为测量基准,由单面阵CCD探测光斑图像,图像经处理后可获得光斑位置信息,根据光斑位置变化推算出被测物体三维平移变化量.在实验室环境下构建了二维实验系统,模拟测量X向和Z向的平移变化,结果表明,X向平移测量精度优于±1μm,Z向平移测量精度优于±2μm.系统具有非接触、体积小、精度高的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕勇	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	106	257	9.0	11.0
2	刘力双	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	55	162	7.0	10.0
3	王凯	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	5	14	2.0	3.0
4	弋青锐	北京信息科技大学光电信息与通信工程学院	5	14	2.0	3.0