一种新型微梁阵列传感器设计及实现

• 作者: 伍小平 张广平 张青川 薛长国
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微悬臂梁阵列 生化传感器 设计与实现
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 21-25
• 分类号: TP212.14|TP212.3
• 字数: 2084字
• 语种: 中文

摘要

微悬臂梁传感技术是微纳传感技术研究的热点,仪器装置的研究也从单悬臂梁向微梁阵列的方向发展.本文针对间距为250μm的商品化微梁阵列,提出了一种实现对其弯曲变形的读出系统光路.利用高精度位移平台调节激光器空间位置,使光束实现微距离上平行,并分别照射在阵列梁的相邻微梁上.用位置敏感探测器对两个微悬臂梁尖端反射的激光信号进行检测,实现系统传感功能.实验验证该光路设计简单易行,针对这一方案实现了两个微梁的信号分离.在微梁上修饰对应的抗体,系统就可以对其抗原行检测.该方案对微梁多阵列传感器研制开发提出了一个新的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张青川	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	68	411	12.0	15.0
2	伍小平	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	62	947	16.0	28.0
3	薛长国	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	11	56	5.0	7.0
4	张广平	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	11	73	4.0	8.0