基于数字光刻技术的光纤端面微光学器件制作

• 作者: 余秋香 易云
• 来源期刊: 科技广场
• 学科: 物理学
• 关键词: 光纤端面 微光学器件 双光源DMD数字光刻系统 数字光刻技术
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 应用与开发
• 页码范围: 132-134
• 分类号: O436
• 字数: 2285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4792.2011.03.040

摘要

本文提出采用DMD数字光刻技术制作光纤端面微光学器件,基于DMD数字光刻系统,建立了用于制作光纤端面微光学器件的双光源DMD数字光刻系统.利用双光源DMD数字光刻系统,在芯径为62.5μ m,外径为125μ m的多模光纤端面上制作了具有耦合作用的环形光栅.本技术中光纤端面微光学器件的掩模由计算机控制输出,具有设计灵活、实时控制的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余秋香		20	10	2.0	2.0
2	易云		6	23	3.0	4.0