新型功能陶瓷高效研磨半固着磨具

• 作者: 吕冰海 王志伟 袁巨龙 邓乾发
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半固着磨具 功能陶瓷 表面损伤 表面质量 研磨效率
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 545-550
• 分类号: TG74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.06.014

摘要

为提高功能陶瓷游离磨料研磨效率,减少大颗粒杂质侵入造成的表面损伤,提出了一种高效研磨用的新型半固着磨具(SFAT).分析了SFAT的基本工作机理及其制作过程.通过对典型的功能陶瓷工件硅片的研磨实验,分析了SFAT研磨过程中工件表面质量、加工效率、材料去除形式,以及工艺参数对加工过程的影响.实验结果表明,采用#1000 SiC磨料制作的SFAT研磨后的硅片表面粗糙度在10 min内,从215 nm提高到了30 nm.定义了单位材料去除量内表面粗糙度下降值,作为评价工件精加工表面质量改善效率的指标.实验中,利用SFAT研磨硅片的单位材料去除量内表面粗糙度下降值是相似条件下游离磨料研磨的2倍,这表明利用SFAT加工能够迅速改善工件的表面质量,能够获得比游离磨料加工更高的精加工效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	24	808	13.0	24.0
3	吕冰海	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	10	419	5.0	10.0
4	王志伟	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	18	478	7.0	18.0
7	邓乾发	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	29	152	7.0	10.0