半固着磨具“陷阱”效应影响因素分析

• 作者: 王志伟 袁巨龙 赵萍
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半固着磨具 “陷阱”效应 大颗粒 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2011,（20）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2399-2403
• 分类号: TG74
• 字数: 3313字
• 语种: 中文

摘要

以抛光后无表面损伤的单晶硅片为试件，以表面粗糙度Ra为指标，对半固着磨具的“陷阱”效应进行试验分析，讨论大颗粒浓度及尺寸、磨具硬度、加工载荷、磨具转速对“陷阱”效应的影响。研究结果表明：对一定尺寸的大颗粒，当大颗粒数量不超过临界值时，大颗粒可全部陷入，“陷阱”效应发挥；当大颗粒尺寸较大、磨具硬度较高、加工载荷较大时，不利于“陷阱”效应发挥。‘

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵萍	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	28	179	7.0	12.0
2	王志伟	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	18	478	7.0	18.0
3	袁巨龙	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	116	1467	19.0	35.0