三维调制靶模板的快速刀具伺服加工技术

• 作者: 周京博 孙涛 黄燕华
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三维调制靶模板 金刚石车削 快速刀具伺服 刀具参数 刀尖圆弧半径
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 526-532
• 分类号: TG519.3
• 字数: 2707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.06.011

摘要

采用快速刀具伺服技术(FTS)实现了非回转对称三维调制靶模板的精密车削加工.阐明了调制靶模板车削加工的基本原理,并提出一种基于坐标变换的金刚石刀具几何参数选择方法,推导了车削加工此类表面时金刚石刀具刀尖圆弧半径、前角和后角所需满足的条件.基于此提出了一种基于三次Hermite插值的刀尖圆弧半径补偿算法,并详细讨论了插值节点的计算方法.由刀尖圆弧半径补偿仿真结果可以看出,此补偿算法精度优于2 nm.在自行研制的精密金刚石车床上实现了X、y方向上波长均为100μm、幅值均为0.7 μ,m的正弦网格调制结构的加工.采用白光干涉仪对所加工的调制结构进行测量,并提取二维轮廓进行分析,其轮廓误差为0.31μm,表面粗糙度为13.3 nm.测量结果表明采用基于快速刀具伺服的非回转对称车削是实现三维调制靶模板制作的有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
2	周京博	哈尔滨工业大学精密工程研究所	4	34	4.0	4.0
3	黄燕华	中国工程物理研究院等离子体物理国家重点实验室	25	118	6.0	9.0