三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制

• 作者: 付秀华 梅禹珊 石澎 魏孜洵
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 三维腹腔镜 光学增透膜 真空镀膜 离子辅助沉积
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 196-200
• 分类号: O484.1
• 字数: 2704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2011.02.015

摘要

根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求,研究并选择了合适的薄膜材料;采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统,利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计.通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法,减少了膜厚控制误差,成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜.测试试验显示,制备的膜层在400-700 nm波段的平均反射率＜0.5%,而且颜色不失真,膜层牢固,抗腐蚀效果较好,满足医用光学仪器的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华		141	525	11.0	15.0
2	魏孜洵		3	15	2.0	3.0
3	石澎		4	17	2.0	4.0
4	梅禹珊		3	15	2.0	3.0