双冷却系统在一次封排炉中的应用

• 作者: 姚栓科 孙海勇 许兆祥
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 一次封排炉 双冷却系统 冷水机组
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 58-59
• 分类号: TN105
• 字数: 1591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2011.06.015

摘要

一次封排炉是目前生产真空灭弧室的关键设备.在工作过程中,设备的炉膛壳体部分和扩散泵均需要冷却.本文以实例介绍了双冷却系统的设计及其在一次封排炉中的应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙海勇		2	0	0.0	0.0
2	姚栓科		1	0	0.0	0.0
3	许兆祥		2	0	0.0	0.0