基于碳纳米管场发射的压力传感器仿真与设计

• 作者: 王全保 范振民 赵海涛 陈吉安
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 碳纳米管 复合电镀 有限元仿真 优化设计
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 123-126
• 分类号: TQ153
• 字数: 3422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.10.039

摘要

碳纳米管是场发射阴极的极佳材料.基于碳纳米管和金属铜的复合电镀技术,采用有限元软件对压力传感器的碳纳米管布设进行了有限元仿真,使用模拟退火算法对阳极变形膜的尺寸进行了优化,并设计了实现压力传感器的工艺过程.碳纳米管的管径在不影响电镀质量的情况下可尽量小,选取的长度不影响直立,间距在500 nm时可获得最大电流.阳极膜的压力窗最优厚度为0.209 84 mm,窗口长度4.9178 mm,此时阳极膜的变形和应力均处于最大值.通过可行性工艺的执行,可制造出体积小、质量轻、灵敏度高的压力传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范振民	上海交通大学空天科学技术研究院	3	7	2.0	2.0
2	赵海涛	上海交通大学空天科学技术研究院	24	227	6.0	15.0
3	陈吉安	上海交通大学空天科学技术研究院	28	145	5.0	11.0
4	王全保	上海交通大学空天科学技术研究院	9	33	3.0	5.0