光波导微模具飞切加工工艺

• 作者: 刘勇 吴宇列 彭文强 李圣怡
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 飞切 微模具 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 机电工程·控制工程
• 页码范围: 54-58
• 分类号: TH162.1
• 字数: 2402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2011.05.011

摘要

针对目前模压制作工艺中高精度的光波导微模具加工工艺比较复杂的问题,基于金刚石超精密机械加工技术在光学元件微结构的广泛应用提出了光波导微模具的金刚石飞切高效快速的加工方法.通过超精密飞切加工系统以硬铝为模具材料进行了工艺优化的正交试验.试验结果表明:背吃刀量对光波导微结构表面质量的影响相当敏感,主轴转速对微结构表面质量的影响也比较大,进给量的影响则要小得多.综合考虑机床的稳定性及加工效率,确定了最优的光波导微模具的飞切加工工艺参数为:背吃刀量25μm、进给量20mm/min和主轴转速800r/min.通过优化工艺参数获得微结构侧壁表面粗糙度rms为17.1nm的光波导微模具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	刘勇	国防科技大学机电工程与自动化学院	29	143	7.0	10.0
3	吴宇列	国防科技大学机电工程与自动化学院	37	318	9.0	16.0
4	彭文强	国防科技大学机电工程与自动化学院	8	26	3.0	5.0