微工程与惯性测量组件微型化发展研究

• 作者: 冯运辉 张斌 王勇
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 航空航天
• 关键词: 电子装备 逻辑器件 系统集成 MEMS 惯性器件 测量组件 微型化
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与动态
• 页码范围: 64-68
• 分类号: V241.6
• 字数: 5718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.02.016

摘要

介绍了基于纳米技术的微工程领域的研究和发展情况,阐述了FPGA、ASIC、ASIS等典型集成逻辑器件设计技术和基于协同仿真、验证设计环境(CVE)进行虚拟样机设计开发的设计理念,介绍了MEMS的基础理论研究,总结了MEMS的技术特点和惯性测量组件微型化的发展趋势和优势.