微细槽的电化学铣削加工

• 作者: 王振龙 王玉魁 赵万生 陈辉
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学铣削 微细槽 微小型腔 超短脉冲电压
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 83-88
• 分类号: TG662
• 字数: 3696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.01.016

摘要

为了研究不锈钢微细槽的电化学铣削加工技术,使用微细的、旋转的圆柱电极作为电化学加工的阴极,采用脉冲电压电化学加工技术用类似铣削加工的方法加工微细槽.研究了脉冲宽度对电极和微细槽侧面加工间隙的影响,并对微细槽铣削加工过程中的电场和流场进行了分析.在相同的电压幅值和平均电压条件下,脉冲宽度越大,侧面加工间隙越大.电场和流场分析表明,微细槽的侧面加工间隙和侧面倾斜度随着脉冲宽度的减小以及进给速度的增加而减小.当脉冲宽度小于工件表面双电层充电时间常数时,采用钝化电解液能够减小电化学杂散腐蚀和微细槽的侧面倾斜度.当脉冲宽度为0.4 μs、进给速度为24 μm/min时,微细槽的侧面倾斜度很小,侧面加工间隙达到10 μm.实验结果表明,采用超短脉冲电化学铣削加工方法和合适的电解液,能够提高微细槽的加工精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振龙	哈尔滨工业大学微系统与微结构教育部重点实验室	170	3395	35.0	51.0
5	赵万生	上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室	141	1236	19.0	28.0
6	陈辉	哈尔滨工业大学微系统与微结构教育部重点实验室	23	295	11.0	17.0
10	王玉魁	哈尔滨工业大学机电工程学院	26	229	10.0	14.0