基于钽酸锂晶体薄片的红外探测器设计及应用

• 作者: 刘俊 张文栋 熊继军 薛晨阳 谭秋林
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 钽酸锂 晶体薄片 红外吸收 气体传感器
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 73-77
• 分类号: TH744.41
• 字数: 2328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.01.014

摘要

通过减薄、键合、抛光等技术加工成厚度达到10 μm左右的超薄晶片,然后通过蒸金、黑化等处理技术将其制备成红外敏感元件.根据红外光谱吸收原理,为提高分辨率和选择性吸收性能,在敏感元件前段集成了窄带滤光片.制备的敏感元件与选用的窄带滤光片,以及CMOS放大器与电阻和电容各一个都被封装和集成在一个TO-18型管壳内,最终被设计加工成为单一通道的红外探测器,其滤光片可根据要求的波带范围进行更换.利用两个吸收波长分别为(3 310±90)nm 和(3 910±60)nm的单元探测器,设计并制作了一个微型气体传感器.该气体传感器能实现检测一些烃类气体,文中对乙烯气体进行了实验测试,并进行了实验数据分析.分析结果表明:这种气体传感器具备较好的检测气体浓度的能力,能检测的最大量程为30 000×10-6,达到分辨100×10-6的检测能力,且具有较好的重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
6	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
7	谭秋林	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	71	327	10.0	15.0