CCD分段测量的光学位移测量系统

• 作者: 付献斌 周坤 李雅倩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光三角法 CCD 虚拟探测器 位移测量
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2036-2042
• 分类号: TH822|TN386.5
• 字数: 1886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111909.2036

摘要

为了高精度地实现大量程的位移测量,采用传统激光三角法的测量原理,提出一种基于虚拟探测器的激光三角法来测量位移.该方法基于3个CCD分段测量的思想,将3个CCD互相独立且沿光轴均匀分布,以此扩大传统方法测量的范围.使用平面反射镜作为虚拟探测器进行探测,当成像光束经平面镜反射后在CCD上成像时,系统相当于增加了一个CCD,扩展了测量量程.由准直系统、偏振片、光阑组成准直滤光系统,缩小探测器光敏面上像点的直径,减小被测表面非理想光点对测量精度的影响,从而实现了较高精度下的大位移测量.最后通过实验验证了方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李雅倩	燕山大学电气工程学院	27	149	9.0	11.0
2	付献斌	燕山大学电气工程学院	17	62	4.0	7.0
3	周坤	燕山大学电气工程学院	3	49	3.0	3.0