集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度

• 作者: 邢荣欣
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路静电放电模拟器 短路电流波形 校准 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 528-532
• 分类号: TB97
• 字数: 3293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2011.00528

摘要

集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢荣欣	中国电子技术标准化研究所计量与检测中心	5	15	2.0	3.0