高灵敏度光伏硅杂质元素分析仪的研制

• 作者: 宁方敏 徐惠忠 田宇紘 邬旭然
• 来源期刊: 烟台大学学报（自然科学与工程版）
• 学科: 工学
• 关键词: 元素分析仪 X荧光分析仪 光伏硅 硅漂移探测器 数字脉冲处理器
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 136-140
• 分类号: TH842
• 字数: 3028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-8820.2011.02.011

摘要

光伏硅杂质元素分析仪是基于能量色散谱仪的工作原理,研制开发的由硅漂移探测器和数字脉冲处理器以及双靶激发系统组成的X荧光类分析仪.仪器的性能测试中:能量线性偏差为0.23%,相对极差为0.06%,相对标准偏差为0.59%,同时探测器的能量分辨率为130 eV,均可证明满足光伏硅中Cr、V、Mn、Co、Ni、Fe等杂质元素的定量分析要求.同时,用该系统对某公司生产的光伏硅材料进行测试,结果与ICP-AES测试结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邬旭然	烟台大学化学生物理工学院	51	247	8.0	12.0
2	徐惠忠	烟台大学环境与材料工程学院	53	266	10.0	14.0
3	宁方敏	烟台大学环境与材料工程学院	2	13	2.0	2.0
4	田宇紘	烟台大学环境与材料工程学院	2	13	2.0	2.0