高精度光学自动检测仪快速对焦方法研究

• 作者: 潘健华 程良伦
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 自动对焦 三角法 通光率 光学检测
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 41-43,46
• 分类号: TP273.3
• 字数: 1981字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2011.02.014

摘要

为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性、快速性和稳定性,提出一种新型的高精度快速自动对焦技术方案.该系统利用光学三角法测距原理将汇聚到工作台上的激光光斑成像在CCD上,再利用光斑灰阶的变化实现精密对焦.实验结果表明:显微镜重复对焦精度可以达到0.1 μm,对焦时间小于200 ms,满足工业光学检测系统中实际应用的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程良伦	广东工业大学自动化学院	274	1459	17.0	25.0
2	潘健华	广东工业大学自动化学院	1	2	1.0	1.0