SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的热力学

• 作者: 侯彦青 俞小花 宋东明 李荣兴 谢刚 陶东平
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 化学
• 关键词: SiCl4 SiHCl3 热力学 转化
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 矿业工程·冶金工程·化学与化工
• 页码范围: 3202-3210
• 分类号: O642.4|O613.72
• 字数: 4750字
• 语种: 中文

摘要

应用有关热力学数据研究了与多晶硅主要生产工艺即西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应,研究SiCl4氢化转化为SiHCl3过程中可能发生的15个反应,给出15个反应的ΔGθm -T图；并确定5个独立的反应,给出这5个独立反应的KθP -T图;高温时主反应(1)的Kp增长较慢,而反应(2)和(5)的KθP快速增大,1 373K时,主反应(1)的KθP较小,为0.157 1.进一步研究温度、压强和进料配比nH2/nsicl4对SiCl4氢化率的影响,并绘制出SiCl4氢化率随这些因素的变化曲线.结果表明:当压强和进料配比一定时,SiCl4的氢化率随温度的升高先增加后降低;增大压强或增加进料配比nH2/nsiCl4都会提高SiCl4的氢化率;SiCl4氢化转化为SiHCl3过程的最佳操作条件为温度为1 000℃,压强为0.3 MPa,进料配比nH,/nSiCl4为4,在此条件下,SiCl4的氢化率为25.78％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢刚	昆明理工大学冶金与能源工程学院	223	1635	21.0	30.0
3	陶东平	昆明理工大学冶金与能源工程学院	42	223	8.0	14.0
6	俞小花	昆明理工大学冶金与能源工程学院	96	514	11.0	17.0
7	李荣兴	昆明理工大学冶金与能源工程学院	67	346	11.0	14.0
8	侯彦青	昆明理工大学冶金与能源工程学院	35	159	6.0	11.0
9	宋东明	昆明理工大学冶金与能源工程学院	10	61	5.0	7.0