掺铝氧化锌复合粉体制备工艺对靶材性能的影响

• 作者: 刘磊 张勤勇 王鹏飞 金应荣
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 AZO陶瓷靶材 合成工艺
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 53-56
• 分类号: TB43
• 字数: 2790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2011.03.013

摘要

以Zn(NO3)2·6H2O、Al(NO3)3·9H2O为前驱体,柠檬酸为络合剂,采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌复合粉体,并通过普通烧结制备出掺铝氧化锌靶材,对制备的靶材进行测试试验,结果表明:采用两倍于金属离子摩尔浓度的柠檬酸为络合剂、pH为7.2、干燥温度为90℃时,所制备靶材的致密度及电学性能有较优值,与固相反应法相比,该靶材的性能更好,成分更均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金应荣	西华大学材料科学与工程学院	59	141	5.0	7.0
2	张勤勇	西华大学材料科学与工程学院	34	153	7.0	11.0
3	王鹏飞	西华大学材料科学与工程学院	5	15	3.0	3.0
4	刘磊	西华大学材料科学与工程学院	8	37	3.0	6.0