新型剪切应力和流体传感器

• 来源期刊: 电脑与电信
• 学科: 工学
• 关键词: 剪切应力传感器 互补金属氧化物半导体 应力和 流体 力学检测 绝缘体上硅 剑桥大学 传感元件
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 国际合作项目推荐
• 页码范围: 24-24
• 分类号: TP212.9
• 字数: 900字
• 语种: 中文

摘要

剑桥大学新开发一种新型绝缘体上硅（SOI）互补金属氧化物半导体（CMOS）热剪切应力传感器。这种传感器可以用铝或钨热膜作为传感元件进行湍流检测。该传感器存液体或空气动力学检测方面具有广泛应用前景，