300mm平面标准镜装卡结构的关键参数

• 作者: 王平 王汝冬 王立朋 田伟 隋永新
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 球面标准镜 参考面 有限元法
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学仪器
• 页码范围: 264-270
• 分类号: TN305.7|TH703
• 字数: 3290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2011.03.008

摘要

为了实现大口径平面标准镜的高精结构装卡,对其在重力作用下的面形变化进行了研究.首先,对结构胶的有限元建模进行了理论分析,建立了大口径平面标准镜胶结装卡结构有限元模型.然后,分析了不同胶点数量及分布、不同胶接面积以及不同镜框支撑方式等关键结构参数对参考面面形的影响.最后,设计了大口径平面标准镜胶结及支撑的结构.结果表明,采用胶点直径为5mm,12×3胶点分布形式胶结时,参考面面形的PV值为24.06nm,RMS值为6.78 nm,满足了大口径平面标准镜面形精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新		10	71	5.0	8.0
2	田伟		2	11	2.0	2.0
3	王平		2	11	2.0	2.0
4	王汝冬		2	11	2.0	2.0
5	王立朋		2	11	2.0	2.0