用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征

• 作者: 邓文渊 金春水 靳京城
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光器 ArF准分子激光器 CaF2衬底 激光量热吸收 表面粗糙度 光谱术
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 16-21
• 页数: 6页
• 分类号: O734
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1002004

摘要

对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究.采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱密度(PSD)和表面散射,最后分别测量了CaF2衬底的荧光光谱、红外光谱和拉曼光谱.激光量热法测量5 mm厚准分子级CaF2衬底的吸收结果为922×10-6.AFM和WLI测得的CaF2衬底表面粗糙度均方根值分别为0.22和1.24 nm,计算表面散射损耗分别为0.005％和0.25％.荧光光谱在紫外(UV)级CaF2衬底中检测到Ce3+等杂质离子.红外光谱和拉曼光谱在CaF2衬底表面没有检测到水气和有机污染物.实验结果表明,激光量热法可以精确地测量和评价准分子级CaF2衬底的吸收,表面粗糙度的测量结果需要与散射的实测结果综合起来进行评价,荧光和红外等光谱技术是检测CaF2衬底内部痕量杂质及表面污染的有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	56	202	9.0	11.0
2	靳京城	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	2	1.0	1.0
3	邓文渊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	187	7.0	13.0