毫米波MEMS开关自激励机理实验验证结构的模拟与设计

• 作者: 周易 廖小平 肖建斌
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 毫米波 MEMS开关 自激励 实验验证
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 923-928
• 分类号: TN602
• 字数: 3247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0505.2011.05.006

摘要

提出了一种新型的毫米波MEMS开关自激励机理的实验验证结构,该结构由一分四功率分配器和5个相同开关形成的阵列组成.通过CST Microwave Studio和HFSS电磁仿真软件完成了一分四功率分配器和开关阵列的设计.在频率为35 GHz时,一分四功率分配器的4个输出端口的隔离度小于-48 dB,同时由于结构的对称性,4个输出端口具有等分功率的性质.这2个特性对开关自激励机理的实验验证的功能实现至关重要.设计的毫米波MEMS电容式并联开关在35 GHz的插入损耗为0.076 dB,隔离度为-55 dB;设计的毫米波MEMS直接接触式串联开关在35 GHz具有0.14 dB的插入损耗和-25 dB隔离度.