形状记忆合金驱动的常闭型主动阀

• 作者: 刘力涛 叶雄英 施鏐佳 杜敏
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微阀 形状记忆合金 微流体 常闭阀
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 551-554
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.06.015

摘要

本文研究了一种基于形状记忆合金(SMA)驱动的常闭型微阀.该微阀结构由弹性沟道层和形状记忆合金桥两部分组成,利用形状记忆合金微丝在相变过程中产生的拉力,打开微阀结构.通过对微阀的测试得出,其打开压力为4 000 Pa左右,开启时间和关闭时间分别为0.6s和1 8.此外,当电流在0.14 ～0.30 A内,可得到6.7～75.2 μL/min的近似线性流量调节范围.该形状记忆合金常闭微阀的制造采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的软光刻工艺实现,之后采用印刷电路板(PCB)上的形状记忆合金丝焊接组装搭建驱动结构.