一种基于MEMS技术的可调谐光滤波器

• 作者: 周婷婷 孙莉萍 胡强高 谢卉
• 来源期刊: 光通信研究
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 光栅 可调谐光滤波器
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件研究与应用
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TN256
• 字数: 2019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8788.2011.04.008

摘要

文章介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的可调谐光滤波器(TOF),分析了其基本原理和光学结构,给出了合理的设计方案及所进行的实验验证.实验结果表明,该滤波器性能优良,20 dB带宽<0.65 nm,3 dB带宽<0.24 nm,整个光路的插损控制在2 dB以内.根据该方案设计的滤波器具有体积小、成本低和波长调谐范围大等特点,而且能实现窄带滤波,可以广泛用于光通信系统和传感领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡强高		23	85	5.0	8.0
5	周婷婷		1	7	1.0	1.0
9	谢卉		3	11	2.0	3.0
13	孙莉萍		3	11	2.0	3.0