选择性无电解镀铜在PET膜表面上构筑微铜图案

• 作者: 叶立刚 吴仲岿 唐红肖 李少英 杨军
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: PET膜 图案化 选择性镀铜 真空紫外光刻蚀 无电解镀 SAMs
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 26-28,43
• 分类号: TQ153.1+4
• 字数: 3038字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.03.008

摘要

采用波长为172 nm的紫外光使PET膜表面官能化,然后自组装APTES单分子膜(SAMs),再在真空条件下通过紫外光刻蚀对PET膜表面的SAMs进行微加工,最后进行选择性无电解镀铜处理.通过测量水接触角和XPS分析,表征了PET膜经各步处理后的表面状态,并观察了镀铜后的微铜图案.结果表明:紫外光照使PET基材表面改性,通过紫外光刻蚀技术,对SAMs的微加工可以控制铜在PET表面选择性沉积,从而一次性制备出保真性较好的微米级镀铜图案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴仲岿	武汉理工大学材料科学与工程学院	36	207	8.0	12.0
2	杨军	武汉理工大学材料科学与工程学院	17	182	5.0	13.0
3	唐红肖	武汉理工大学材料科学与工程学院	2	8	2.0	2.0
4	李少英	武汉理工大学材料科学与工程学院	3	28	3.0	3.0
5	叶立刚	武汉理工大学材料科学与工程学院	1	4	1.0	1.0