薄膜加载变形的有限元数值优化反演求解

• 作者: 刘丽萍 石广丰 袁帅
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜反射镜 面形控制 有限元 优化 反演 大变形
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 61-63,70
• 分类号: TH751
• 字数: 2445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2011.01.018

摘要

薄膜加载变形的反演求解问题是薄膜反射镜成形控制的核心问题.为了实现薄膜面形的高精度控制,给出了柔性圆薄膜由平面变为特定矢高的理想抛物面所需离散均布栽荷的算法,并建立了有限元数值优化反演求解模型.通过300mm口径、25um厚的聚酰亚胺薄膜算例求解,分析了边界预张力、优化栽荷对薄膜面形精度和中心变形量的控制规律,为大变形薄膜反射镜面形控制提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰		69	202	6.0	11.0
2	刘丽萍		16	34	4.0	4.0
3	袁帅		6	28	3.0	5.0